د
- یوه/دوه دروازې
چوکاټ او چیمبر د کاربن سټینلیس فولاد څخه جوړ شوي دي.
هره دروازه د پروسې د لید کنټرول لپاره د تفتیش کړکۍ چمتو کوي.د دروازې دیوالونه د سټینلیس سټیل لاینر چمتو کوي کوم چې د ساتنې لپاره په اسانۍ سره لرې کیږي.
- تخصیص شوی ویکیوم چیمبر
چیمبر د پاکولو لپاره د داخلي سټینلیس سټیل لاینر په اسانۍ سره لرې کول چمتو کوي.
پمپونه د هغې په شا برخه کې ولاړ دي.
چیمبر د اندازه کولو هدف لپاره د کوچنیو فلجونو لړۍ لري.
- د لوړ ویکیوم پمپ کولو سیسټم
د خپریدو پمپ + بوسټر پمپ + میخانیکي پمپ
- د خلا اندازه کول او کنټرول
د فلزي پیراني ګیج + فلزي آیونیزیشن ګیج سره
- د فکسچر حرکت کولو سیسټم
- د PLC کنټرول واحد
- د لوړ بریښنا ټرانسفارمر سره د المونیم تبخیر سیسټم
- د اوسپنې چوکاټ
جوړښت معقول دی
د فلم پرت یونیفورم دی
د فلم جوړولو کیفیت
د لوړ پمپ کولو سرعت، لنډ کاري دوره او د تولید لوړ موثریت
عملیات اسانه دي
د کم انرژي مصرف او باثباته فعالیت
د ماډل شمیره | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | دوه دروازې یا دوه چیمبر ماډل شتون لري | |
د ویکیوم چیمبر ابعاد (قطر* لوړوالی) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
د ویکیوم چیمبر مواد | کاربن فولاد، SUS304 یا SUS316L | ||||||
د کار کولو ټیکنالوژي | د ټنګسټن او المونیم فلامینټونو سره د خلا مقاومت تبخیر ، د لوړ بریښنا تبخیر ټرانسفارمر | ||||||
د پمپ کولو سیسټم | د خپریدو پمپ + میخانیکي پمپونه ، بوسټر پمپ | ||||||
د پمپ کولو وخت | له اتموسفیر څخه تر 5.0*10-2Pa لږ تر 8 دقیقو پورې | ||||||
د ویکیوم حد | 5.0*10-4 Pa | ||||||
د کار د حرارت درجه | د کوټې د حرارت درجه | ||||||
د کار کولو حالت | اتوماتیک یا لاسي حالت، د 10.4 انچ PLC ټچ سکرین لخوا | ||||||
ټول ځواک | 40-80kW | 70-140kW | |||||
د پښو نښه | 2*2 متره | 2*3 متره | 3*3 متره | 3*3 متره | 3*4 متره | 4*5 متره | 5*6 متره |
دا واحدونه تاسو کولی شئ دودیز جوړ کړئ | 1. د ویکیوم چیمبر اندازه 2. د پمپونو ترتیب | ||||||
اختیاري وسایل | 1. د لیکې کشف کونکی 3. د آرک آئن د جمع کولو سیسټم 4. Magntron sputtering سیستم |